Edwards suministrará bombas para los sistemas de supervisión de calidad de vacío (VQM™) de Granville-Phillips

Edwards Group Limited (NASDAQ: EVAC), fabricante líder de productos sofisticados de vacío, sistemas de reducción de emisiones, y proveedor global de servicios de valor agregado relacionados con ellos, suministrará la bomba turbomolecular compuesta EXT75DX a Granville-Phillips® para formar parte de su Sistema de Bomba Diferencial 835 Vacuum Quality Monitor (VQM™). El Sistema de Bomba Diferencial (DPS, por sus siglas en inglés) 835 VQM proporciona información en tiempo real que puede ser utilizada para optimizar la deposición física de vapor, el implante de iones, el grabado por iones reactivos y cualquier proceso dependiente de vacío, particularmente en la fabricación solar y de semiconductores. También puede utilizarse para supervisar el sistema de vacío y de diagnóstico en una amplia gama de otros procesos de vacío en el recubrimiento delgado de películas, investigación y desarrollo, la física de alta energía u otras aplicaciones en donde la comprensión precisa del entorno del vacío es fundamental.

Edwards ha estado trabajando junto con Granville-Phillips, parte de Brooks Automation Inc, en su 835 VQM DPS, una herramienta de diagnóstico utilizada para supervisar la calidad del entorno de vacío en una variedad de sistemas de vacío. Una diferencial de presión entre la cámara de vacío y el manómetro VQM se logra limitando la conductancia al sensor mediante un orificio en la válvula de la compuerta del sistema y bombeando del sensor con una bomba turbomolecular. Esto permite al VQM DPS controlar la calidad del vacío de un sistema con presiones entre 3 Torr y 5x10^-9 Torr.

Las razones fundamentales por las cuales Granville-Phillips seleccionó la bomba turbomolecular EXT75DX de Edwards fueron por su rendimiento ultra limpio de vacío elevado, su baja vibración, su tolerancia a la presión de respaldo alta, su bajo consumo de energía y su tamaño compacto.

Un aspecto crucial en el proceso de decisión de Granville-Phillips fue que Edwards fue capaz de suministrar un producto robusto y confiable, en línea con su programa GUTS® (tiempo de intervención garantizado), asegurando un rendimiento correcto para sus clientes a través del uso de este sistema.

David Steele, director del sector en el mercado de Edwards, comentó: “El diseño innovador de VQM lo diferencia de las herramientas de análisis de gas convencionales. Edwards ha asumido el compromiso de suministrar el sistema de vacío de mayor calidad a Granville-Phillips, con el rendimiento y el precio adecuado”.

Para obtener mayor información acerca de los productos de Edwards, visite: www.edwardsvacuum.com.

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Edwards Group Limited
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