Rigaku lancia sul mercato XHEMIS TX-3000, un sistema di analisi TXRF per processi avanzati relativi a semiconduttori
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Rigaku Corporation, un partner globale nelle sviluppo di soluzioni relative a sistemi di analisi ai raggi X e un’impresa del gruppo Rigaku Holdings Corporation (sede centrale: Akishima, Tokyo; amministratore delegato: Jun Kawakami; di seguito “Rigaku”), ha lanciato sul mercato XHEMIS (pronuncia: “ZEM-mis”) TX-3000, un sistema di riflessione totale a fluorescenza di raggi X (TXRF) che consente di analizzare tracce di contaminazione sulle superfici dei wafer nelle fasi di produzione di dispositivi a semiconduttori.
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Measurement result of surface contaminant distribution
Rigaku protegge la qualità mediante la tecnologia TXRF, un settore in cui detiene una quota di mercato preponderante
L’analisi di tracce di contaminanti sulle superfici dei wafer è essenziale nella produzione di dispositivi a semiconduttori.
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